下载大面积柔性泡沫铜基掺硼金刚石薄膜及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:43878102

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本发明公开了大面积柔性泡沫铜基掺硼金刚石薄膜及其制备方法和应用,包括泡沫铜、过渡层和BDD膜,所述泡沫铜作为基底,所述泡沫铜采用商用大面积泡沫铜,所述过渡层采用二氧化钛原子层,所述过渡层在基底上沉积,所述BDD膜在过渡层上沉积。本发明将通过...
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