下载一种基于阴影掩膜工艺的半导体预制件及预制件制备方法的技术资料

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本发明公开了一种基于阴影掩膜工艺的半导体预制件及预制件制备方法,应用于半导体制备领域,该预制件包括:层叠设置的待加工半导体器件和阴影掩膜;待加工半导体器件靠向阴影掩膜的第一表面,设置有待加工区域,阴影掩膜沿层叠方向对应形成有裸露出待加工区域...
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