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本发明公开了一种用于半导体器件批量测试的源测量单元前置放大装置，包括：SMU源测量单元、矩阵开关和Pre‑AMP前置放大器；Pre‑AMP前置放大器，与多个DUT待测器件连接，用于将测试得到的fA级别或pA级别的电流进行放大，转换得到nA及...
该专利属于上海概伦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海概伦电子股份有限公司授权不得商用。

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