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本技术涉及一种甲酸真空炉真空过滤系统及甲酸真空炉,其中甲酸真空炉真空过滤系统包括:第一过滤机构,包括第一罐体、设于第一罐体内的一级金属丝网以及设于第一罐体内的冷却管;一级金属丝网对进入第一罐体的气体进行初步过滤,冷却管对气体进行冷却;第二过...该专利属于立忞半导体科技(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过立忞半导体科技(无锡)有限公司授权不得商用。
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本技术涉及一种甲酸真空炉真空过滤系统及甲酸真空炉,其中甲酸真空炉真空过滤系统包括:第一过滤机构,包括第一罐体、设于第一罐体内的一级金属丝网以及设于第一罐体内的冷却管;一级金属丝网对进入第一罐体的气体进行初步过滤,冷却管对气体进行冷却;第二过...