下载电容式压力传感器及其制造方法、电子装置的技术资料

文档序号:43875501

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本公开实施例提供一种电容式压力传感器及其制造方法、电子装置,所述制造方法包括:在衬底的第一侧上形成第一介质层、第一电极层、第二介质层和第二电极层;在第二电极层中形成第一电极过孔和第二电极过孔;移除第二介质层的被第二电极过孔暴露出的部分,以形...
该专利属于润芯感知科技(南昌)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过润芯感知科技(南昌)有限公司授权不得商用。

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