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本发明属于光伏发电技术领域，本发明公开了一种全干法制备钙钛矿材料蒸镀设备防腐蚀冷屏，蒸镀设备包括蒸发源，蒸发源蒸发出钙钛矿材料分子，防腐蚀冷屏包括真空腔体、冷屏板、冷屏板固定柱、均热板、低温泵、冷媒管、均热板固定柱和冷阱；冷屏板包括板主体，...
该专利属于普诺逊真空科技（常熟）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过普诺逊真空科技（常熟）有限公司授权不得商用。

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