本技术属于光伏发电技术领域，本技术公开了一种全干法制备钙钛矿材料蒸镀设备防腐蚀冷屏，蒸镀设备包括蒸发源，蒸发源蒸发出钙钛矿材料分子，防腐蚀冷屏包括真空腔体、冷屏板、冷屏板固定柱、均热板、低温泵、冷媒管、均热板固定柱和冷阱；冷屏板包括板主...

本发明属于光伏发电技术领域，本发明公开了一种全干法制备钙钛矿材料蒸镀设备防腐蚀冷屏，蒸镀设备包括蒸发源，蒸发源蒸发出钙钛矿材料分子，防腐蚀冷屏包括真空腔体、冷屏板、冷屏板固定柱、均热板、低温泵、冷媒管、均热板固定柱和冷阱；冷屏板包括板主...