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本技术提供了一种搬运机械手，涉及搬运设备技术领域，为解决现有的晶圆搬运机械手结构尺寸较大，使得其灵活性较差的问题而设计。该搬运机械手包括大臂组件、小臂组件和手指组件，大臂组件包括大臂、第一驱动装置、多级减速机构和第一输出轴，多级减速机构设置...
该专利属于北京华卓精科科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华卓精科科技股份有限公司授权不得商用。

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