【技术实现步骤摘要】
本技术涉及搬运设备，具体而言，涉及一种搬运机械手。
技术介绍
1、晶圆是晶棒经过研磨、抛光、切片后形成的片状结构，随着科学技术的快速发展，对晶圆加工技术和加工环节的要求越来越高，相应地，对于晶圆搬运机械手的灵活性和平稳性也提出了更高的要求。
2、然而，现有的晶圆搬运机械手，通常为驱动装置与减速机构直连进行减速，再分别实现小臂模块和手指模块的动力传输，不仅造价较高，而且尺寸较大，尤其对于双驱动装置，不易布置，使得晶圆搬运机械手的灵活性较差。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种搬运机械手，以解决现有的晶圆搬运机械手结构尺寸较大，使得其灵活性较差的技术问题。
2、本技术提供的搬运机械手，包括大臂组件、小臂组件和手指组件。
3、所述大臂组件包括大臂、第一驱动装置、多级减速机构和第一输出轴，所述多级减速机构设置于所述大臂的内部，所述第一驱动装置通过所述多级减速机构与所述第一输出轴传动连接；
4、所述小臂组件包括小臂、手指传动机构和第二输出轴，所...
【技术保护点】
1.一种搬运机械手，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的搬运机械手，其特征在于，所述第一输出轴(140)为中空轴，所述第一输出轴(140)的内部穿设有与其共轴线的小臂转轴(240)，其中，所述小臂(210)与所述小臂转轴(240)固定连接。
3.根据权利要求2所述的搬运机械手，其特征在于，所述大臂组件(100)还包括第二驱动装置(150)和小臂传动机构(160)，所述第二驱动装置通过所述小臂传动机构(160)与所述小臂转轴(240)传动连接；所述小臂传动机构(160)位于所述大臂(110)的内部，所述小臂传动机构(160)与所述多级减速...
【技术特征摘要】
1.一种搬运机械手，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的搬运机械手，其特征在于，所述第一输出轴(140)为中空轴，所述第一输出轴(140)的内部穿设有与其共轴线的小臂转轴(240)，其中，所述小臂(210)与所述小臂转轴(240)固定连接。
3.根据权利要求2所述的搬运机械手，其特征在于，所述大臂组件(100)还包括第二驱动装置(150)和小臂传动机构(160)，所述第二驱动装置通过所述小臂传动机构(160)与所述小臂转轴(240)传动连接；所述小臂传动机构(160)位于所述大臂(110)的内部，所述小臂传动机构(160)与所述多级减速机构(130)沿所述大臂(110)的厚度方向排布，且沿所述大臂(110)的长度方向，所述小臂传动机构(160)与所述多级减速机构(130)至少部分重合。
4.根据权利要求1所述的搬运机械手，其特征在于，所述多级减速机构(130)包括一级减速机构(131)和二级减速机构(132)，所述一级减速机构(131)和所述二级减速机构(132)沿所述大臂(110)的厚度方向排布，且沿所述大臂(110)的长度方向，所述一级减速机构(131)与所述二级减速机构(132)至少部分重合。
5.根据权利要求3所述的搬运机械手，其特征在于，所述搬运机械手还包括基座(400)，所述基座(400)开设有安装腔(410)和与所述安装腔(410)连通的开口(420)；所述大臂组件(100)还包括大臂支撑结构(170)，所述大臂支撑结构(170)可升降地设置于所述安装腔(410)，且所述大臂支撑结构(170)经所述开口(420)与所述大臂(110)固定连接。
6.根据权利要求5所述的搬运机械手，其特征在于，所述开口(420)位于所述基座(400)的顶部，所述大臂支撑结构(170)开设有容纳腔(171)，所述第一驱动装置(120)和所述第二驱动装置(150)至少部分容纳于所述容纳腔(171)。
7.根据权利要求5所述的搬运机械手，其特征在于，所述搬运机械手还包括升降驱动装置(500)和丝杆传动机构(600)，所述升降驱动装置(500)设置于所述安装腔(410)，所述丝杆传动机构(600)包括传动丝杆(610)和传动螺母(620)，其中，所述传动丝杆(610)沿所述大臂支撑结构(170)的升降方向延伸，所述升降驱动装置(500)与所述传动丝杆(610)传动连接，用于驱动所述传动丝杆(610)转动；所述传动螺母(620)与所述大臂支撑结构(170)固定连接，且所述传动螺母(620)与所述传动丝杆(610)螺纹配合；所述大臂支撑结构(170)沿所述升降方向滑动连接于所述基座...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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