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一种无掩模双光束干涉系统技术方案
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下载一种无掩模双光束干涉系统的技术资料
文档序号:43873923
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本技术涉及一种无掩模双光束干涉系统,包括:激光器、第一高反镜、第二高反镜、第三高反镜、半反半透镜、第一1/2波片、第一偏振片、第二1/2波片、第二偏振片、九个镜片支架和样品台,通过调整所述高反镜和半反半透镜的相对位置,改变相干光束入射角和方...
该专利属于苏州城市学院所有,仅供学习研究参考,未经过苏州城市学院授权不得商用。
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