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一种传感器装置包括石英晶体微量天平(QCM)和在QCM表面的至少一部分上的涂层，其中涂层选择性地与目标气体的自由基反应，而不与目标气体的稳定分子反应。QCM是经配置成使得QCM的共振频率响应于目标气体的自由基与涂层的反应而改变，其中QCM的...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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