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本公开提供一种测试系统。测试系统包含主卡盘、测试探针、清洁卡盘以及第一温度控制装置。主卡盘用以乘载待测物。测试探针用以于第一温度测试待测物。第一温度控制装置用以将清洁卡盘的温度调整至第二温度。清洁卡盘用以于第二温度清洁测试探针。第二温度与第...
该专利属于迪科特测试科技(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迪科特测试科技(苏州)有限公司授权不得商用。

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