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本发明公开了一种离子发动机栅极组件溅射腐蚀一体化仿真计算方法及系统，包括：通过采用分子动力学方法，建立离子‑原子碰撞物理模型，获得靶材内部入射粒子散射角参数；计算栅极材料差分溅射产额，获得不同入射角度下溅射靶原子在空间内的角分布特性；对栅极...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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