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场限环终端结构下的高压氧化镓肖特基二极管制造技术
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文档序号:43865366
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本发明提出场限环终端结构下的高压氧化镓肖特基二极管,包括自下而上顺序层叠设置的阴极金属层(1)、高掺杂N型氧化镓衬底(2)、低掺杂N型氧化镓外延层(3)、阳极金属层(4);所述阳极金属层与低掺杂N型氧化镓外延层顶部处的主结(5)相接;低掺杂...
该专利属于福州大学所有,仅供学习研究参考,未经过福州大学授权不得商用。
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