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本申请公开了一种对准系统及方法，可应用于半导体技术领域，其中系统包括：设备前端模块和制程模块；设备前端模块包括机械手臂、第一预对准装置以及第二预对准装置；在取片时，机械手臂用于将晶圆从晶圆盒搬运至第一预对准装置，将托盘从托盘盒搬运至第二预对...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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