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基于碳化硅晶用的抛光设备制造技术
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下载基于碳化硅晶用的抛光设备的技术资料
文档序号:43861990
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本发明涉及晶片抛光技术领域,公开了基于碳化硅晶用的抛光设备,包括工作台,工作台的顶部中心处固定安装有电机,电机输出轴的顶部固定连接有转盘,转盘的顶上方设置有多个放置板,多个放置板的上方之间放置有抛光晶片,放置板的外侧设置有升降组件,转盘的顶...
该专利属于山东密友机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东密友机械有限公司授权不得商用。
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