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一种碳化硅晶体生长装置制造方法及图纸
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下载一种碳化硅晶体生长装置的技术资料
文档序号:43861401
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本发明实施例提供了一种碳化硅晶体生长装置,涉及碳化硅晶体生长技术领域。碳化硅晶体生长装置包括第一坩埚、第二坩埚、围设件、称重组件及升降组件。称重组件与第二坩埚连接,升降组件通过称重组件与第二坩埚连接,升降组件用以带动第二坩埚相对第一坩埚、围...
该专利属于通威微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威微电子有限公司授权不得商用。
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