下载一种基于电弧等离子体的纳米粉体制备系统的技术资料

文档序号:43861103

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本发明公开了一种基于电弧等离子体的纳米粉体制备系统,涉及碳纳米材料和纳米氮化硅生产领域,尤其涉及一种合成氮化硅的生产工艺。目前纳米材料存在着连续生产困难,产品含氧量高,生产过程难以控制、生产线结构单一的问题,本发明增加了抽负压气密性检测装置...
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