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本技术公开了一种高效晶体生长炉,涉及晶体生长技术领域,其包括机架以及位于机架上方的晶体生长腔,所述机架包括一个能够上下升降的移动盘,移动盘上安装有转盘,转盘上并排安装有缓存腔及上料腔,缓存腔与上料腔均位于晶体生长腔的下方并关于转盘所旋转的轴...该专利属于山东天岳先进科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东天岳先进科技股份有限公司授权不得商用。
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本技术公开了一种高效晶体生长炉,涉及晶体生长技术领域,其包括机架以及位于机架上方的晶体生长腔,所述机架包括一个能够上下升降的移动盘,移动盘上安装有转盘,转盘上并排安装有缓存腔及上料腔,缓存腔与上料腔均位于晶体生长腔的下方并关于转盘所旋转的轴...