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一种提取最小重复单元方法、OPC验证方法及装置，其中OPC验证方法包括：获取掩膜版图形，所述掩膜版图形中包括具有重复单元阵列的IP图形；提取所述掩模版图形中的最小重复阵列，所述最小重复阵列包括所有类型的IP图形，且每个类型的IP图形至少有一...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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