下载一种3300VSiCDMOSFET低导通电阻器件优化方法的技术资料

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本发明公开了一种3300V SiC DMOSFET低导通电阻器件优化方法,属于低导通电阻器件优化技术领域,该3300V SiC DMOSFET低导通电阻器件优化方法包括外部参数选取、元胞尺寸设计、JFET区全局掺杂以及工艺设计,所述外部参数...
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