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本发明公开了一种自对准多重图案化的制备方法，该制备方法通过在衬底的一侧分别制备第一光刻胶层以及第二光刻胶层。第一光刻胶层的光敏性与第二光刻胶层的光敏性不同，对第一光刻胶层和第二光刻胶层进行曝光以及显影处理，以在第一光刻胶层和第二光刻胶层完成...
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