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本申请提供了一种适用于光刻机的全自动样片上下料系统和方法，系统包括：基座，包括柜体和位于柜体上的承载平台；一个或多个样片暂存装置，位于承载平台上，样片暂存装置包括一个或多个样片固定托，每个样片固定托用于承托待处理样片；以及样片传送装置，位于...
该专利属于香港科技大学（广州）所有，仅供学习研究参考，未经过香港科技大学（广州）授权不得商用。

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