下载用于晶圆的激光打标方法及晶圆的技术资料

文档序号:43843130

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本公开实施例公开了用于晶圆的激光打标方法及晶圆,所述激光打标方法包括:对晶圆的背面进行研磨,使得从所述晶圆的中心至所述晶圆的边缘所述晶圆的厚度减小;在所述晶圆的背面上形成凹槽;在所述待激光打标的区域进行激光打标;对所述晶圆进行第一刻蚀处理;...
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