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本发明涉及微通道板技术领域，公开了一种提高微通道板高温烘烤前后体电阻一致性的方法，能够被应用于像增强器、微通道板型光电倍增管等真空光电探测器件中。该方法中，在微通道板氢还原工艺之后，增加原子层沉积工艺的步骤，包括：将微通道板放入真空腔体设备...
该专利属于北方夜视科技（南京）研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北方夜视科技（南京）研究院有限公司授权不得商用。

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