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根据实施例的一个方面，提供了一种用于清洗衬底的设备，该设备包括：清洗槽，该清洗槽包含多个衬底和清洗溶液；兆声波发生器，该兆声波发生器被设置在清洗槽的下方，并且该兆声波发生器在清洗时间(t)期间朝向衬底发射超声波；第一侧臂和第二侧臂，该第一侧...
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