下载一种体声波谐振器、电子设备及制造方法的技术资料

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本公开提供一种体声波谐振器、电子设备及制造方法,体声波谐振器包括:一衬底和声波反射区域,所述声波反射区域形成在衬底中或衬底上;在形成有声波反射区域的衬底上形成的下电极层、第一压电层、第二压电层和上电极层;突起结构设置在上电极层上;空隙,所述...
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