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一种体声波谐振器、电子设备及制造方法技术
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文档序号:43834276
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本公开提供一种体声波谐振器、电子设备及制造方法,体声波谐振器包括:一衬底和声波反射区域,所述声波反射区域形成在衬底中或衬底上;在形成有声波反射区域的衬底上形成的下电极层、第一压电层、第二压电层和上电极层;突起结构设置在上电极层上;空隙,所述...
该专利属于苏州汉天下电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州汉天下电子有限公司授权不得商用。
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