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本申请提供一种载板料盒及载板加工装置，涉及半导体加工技术领域。该载板料盒包括：料盒把手和载板支架，载板支架包括沿第一方向平行设置的两个子支架，两个子支架相互靠近的表面分别设有多个载板槽，多个载板槽沿第二方向延伸并沿第三方向间隔分布，其中，第...
该专利属于甬矽半导体（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过甬矽半导体（宁波）有限公司授权不得商用。

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