下载一种制备TOPCon电池的微刻蚀清洗工艺、制备方法及TOPCon电池的技术资料

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本发明公开了一种制备TOPCon电池的微刻蚀清洗工艺、制备方法及TOPCon电池,涉及光伏电池的生产制造技术领域,其中清洗工艺包括以下步骤:对采用PVD完成背面隧穿氧化层生长及本征非晶硅层沉积后的硅片进行第一次酸洗;对酸洗后的硅片进行第一次...
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