温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及半导体晶圆加工处理领域，具体为一种双臂搬运结构，包括下臂组件和上臂组件，所述下臂组件通过法兰装配在转塔组件上，上臂组件的输出端连接腕部组件；所述下臂组件中下臂转轴的下端装配在转塔组件中，转塔组件将动力以下臂转轴为轴心传输至下臂组件...
该专利属于菲科半导体（张家港）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过菲科半导体（张家港）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。