一种双臂搬运结构制造技术

本技术涉及半导体晶圆加工处理领域，具体为一种双臂搬运结构，包括下臂组件和上臂组件，所述下臂组件通过法兰装配在转塔组件上，上臂组件的输出端连接腕部组件；所述下臂组件中下臂转轴的下端装配在转塔组件中，转塔组件将动力以下臂转轴为轴心传输至下臂组件，并且下臂组件以上臂转轴为轴心将动力输出至上臂组件中的腕部连接座；采用本技术，优化整体结构，采用双臂结构，实现在有限的纵向空间内，执行末端的自由控制，双臂结合双轮带传动，将转动角转化后，再次反转，并且运行末端运动过程中，在竖直空间内无干扰；降低整体的空间占用，提高设备内部的使用效率；若结合外部升降组件，可实现高效的多维搬运动作。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体晶圆加工处理领域，具体为一种双臂搬运结构。

技术介绍

1、在半导体制造领域尤其晶圆前道制程中，其中每个制程都具有多个细节步骤，因此晶圆需要在多个制程以及各个步骤间进行搬运，这个过程中需要采用大量的晶圆搬运机器人来完成晶圆的上下料，以便进一步完成晶圆加工、清洗、检测等工序；

2、通常的在搬运过程中，需要进行稳定的平移过程中，因为晶圆大多为片形材料，但是常规的机械臂，需要工作空间较大，其手臂会因各种方向或动作与其他设备发生干涉，因此导致整体占据机械臂空间较大，进而造成其他方面成本增加以及效率的降低，进而影响整个设备的适用性与稳定性。

技术实现思路

1、针对上述现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种双臂搬运结构。

2、本技术提供如下技术方案；

3、一种双臂搬运结构，包括下臂组件和上臂组件，所述下臂组件通过法兰装配在转塔组件上，上臂组件的输出端连接腕部组件；所述下臂组件中下臂转轴的下端装配在转塔组件中，转塔组件将动力以下臂转轴为轴心传输至下臂组件，并且下臂组件以上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种双臂搬运结构，包括下臂组件(6)和上臂组件(7)，其特征在于，所述下臂组件(6)通过法兰装配在转塔组件(5)上，上臂组件(7)的输出端连接腕部组件(8)；所述下臂组件(6)中下臂转轴(63)的下端装配在转塔组件(5)中，转塔组件(5)将动力以下臂转轴(63)为轴心传输至下臂组件(6)，并且下臂组件(6)以上臂转轴(73)为轴心将动力输出至上臂组件(7)中的腕部连接座(76)。

2.根据权利要求1所述的一种双臂搬运结构，其特征在于，所述下臂组件(6)包括下臂壳体(61)、下臂底盖(62)、下臂主动轮(64)和下臂从动轮(65)；所述下臂转轴(63)通过转轴转动连接并深入...

【技术特征摘要】

1.一种双臂搬运结构，包括下臂组件(6)和上臂组件(7)，其特征在于，所述下臂组件(6)通过法兰装配在转塔组件(5)上，上臂组件(7)的输出端连接腕部组件(8)；所述下臂组件(6)中下臂转轴(63)的下端装配在转塔组件(5)中，转塔组件(5)将动力以下臂转轴(63)为轴心传输至下臂组件(6)，并且下臂组件(6)以上臂转轴(73)为轴心将动力输出至上臂组件(7)中的腕部连接座(76)。

2.根据权利要求1所述的一种双臂搬运结构，其特征在于，所述下臂组件(6)包括下臂壳体(61)、下臂底盖(62)、下臂主动轮(64)和下臂从动轮(65)；所述下臂转轴(63)通过转轴转动连接并深入下臂壳体(61)中，所述下臂主动轮(64)固定在下臂壳体(61)内，并通过下臂胀紧套(67)与下臂转轴(63)转动连接。

3.根据权利要求2所述的一种双臂搬运结构，其特征在于，所述下臂主动轮(64)和下臂从动轮(65)通过下臂张紧轮(68)及皮带构成轮带传动。

4.根据权利要求3所述的一种双臂搬...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴晓松，谭良恒，石成林，
申请(专利权)人：菲科半导体张家港有限公司，
类型：新型
国别省市：