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本技术提供一种检测托盘，涉及基板检测领域，该检测托盘包括静电板和承载治具，承载治具采用绝缘材料制成，且承载治具的一侧表面设置有用于承载基板的承载台面，静电板采用导电材料制成，并可拆卸地贴附在承载治具远离承载台面的一侧，用于消除承载治具周围的...
该专利属于甬矽半导体（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过甬矽半导体（宁波）有限公司授权不得商用。

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