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本发明公开了一种含DNQ的双感光功能性光刻胶材料及其制备方法与应用，属于光刻材料技术领域，其制备方法以磺酰氯、乙烯基乙醚为改性材料，并以二碳酸二叔丁酯作为化学放大剂，通过自由基溶液聚合对树脂进行修饰改性。本发明还公开了上述制备方法制备得到的...
该专利属于倍晶新材料（山东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过倍晶新材料（山东）有限公司授权不得商用。

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