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本发明公开了一种半导体设备安全控制方法、安全控制系统及控制设备。所述安全控制方法包括以下步骤：S1输入要求半导体设备执行相关动作的指令；S2根据所述指令调取与之对应执行机构的禁止条件；S3检测半导体设备的实时工作参数，获得侦测值；S4将所述...
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