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本技术公开了一种用于真空反应设备的破真空装置，包括进气箱，进气箱一侧面设置有进气管，进气箱远离进气管的另一侧面布设有布气管，布气管与进气箱连接位置内侧设置有充气橡胶环，布气管外环侧设置有与布气管内部相通的布气环，布气环侧面上设置有布气孔，充...该专利属于深港产学研基地（北京大学香港科技大学深圳研修院）所有，仅供学习研究参考，未经过深港产学研基地（北京大学香港科技大学深圳研修院）授权不得商用。