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本公开提供了一种氧化物膜层制备方法、发光二极管及其制作方法，属于发光器件领域。该方法包括：将基底放入电子束真空镀膜机中；向所述电子束真空镀膜机中通入氧离子热气流；使用电子束对蒸发源的氧化物原料进行蒸发，在所述基底上形成氧化物膜层。在制作氧化...
该专利属于京东方华灿光电（浙江）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方华灿光电（浙江）有限公司授权不得商用。

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