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本发明属于靶材加工技术领域，公开了一种单晶钨阴极靶加工装置及其使用方法，包括工台，所述工台的上表面设置有放置区，所述放置区内设置有阴极钨靶本体，所述工台的下方设置有用于对阴极钨靶本体夹持的定位机构，所述工台的上表面一端安装有安装板，所述安装...
该专利属于上海汤斯顿技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海汤斯顿技术有限公司授权不得商用。

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