下载一种片上硫系倒脊型光波导及其Bragg光栅制备方法的技术资料

文档序号:43801293

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本发明涉及硫系光子学技术领域,公开了一种片上硫系倒脊型光波导及其Bragg光栅制备方法,该片上硫系倒脊型光波导包括衬底层以及设置在衬底层上的波导层,波导层包括横向的平板层和纵向的脊部,平板层和脊部一体化成型,并呈T型;波导层的脊部嵌入衬底层...
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