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本技术提供了一种SMIF盒联动开合装置及SMIF盒装载设备，涉及半导体设备技术领域，以解决现有的SMIF盒，盒盖与底部基板的分离以及盒盖打开后与移动机构的连接分别采用不同的动力源实现的问题。该SMIF盒联动开合装置包括固定件、活动件、开锁机...
该专利属于北京华卓精科科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华卓精科科技股份有限公司授权不得商用。

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