一种SMIF盒联动开合装置及SMIF盒装载设备制造方法及图纸

本技术提供了一种SMIF盒联动开合装置及SMIF盒装载设备，涉及半导体设备技术领域，以解决现有的SMIF盒，盒盖与底部基板的分离以及盒盖打开后与移动机构的连接分别采用不同的动力源实现的问题。该SMIF盒联动开合装置包括固定件、活动件、开锁机构和第二锁件；开锁机构安装于固定件，第二锁件活动安装于活动件，且第二锁件具有连接盒盖与活动件的随动位置以及解除盒盖与活动件连接状态的分离位置；开锁机构与第一锁件及第二锁件均传动连接，用于带动第一锁件运动至解锁位置的同时联动第二锁件运动至随动位置，以及带动第一锁件运动至锁止位置的同时联动第二锁件运动至分离位置。本技术使得盒盖与基板的分离以及盒盖与移动机构的连接采用同一动力源实现。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设备，具体而言，涉及一种smif盒联动开合装置及smif盒装载设备。

技术介绍

1、在半导体的制造过程中，晶圆传送对ic(integrated circuit，集成电路)制造至关重要。为了确保晶圆在不同制程间传送时的品质，避免晶圆受到尘粒或其他污染，往往采用smif(standard mechanical interface，标准机械界面)盒进行晶圆传送。其能够明显减少流过晶圆的尘粒，来降低尘粒对晶圆的污染，以保证晶圆传送、存储以及多数制程中，晶圆周围的气体相对于晶圆保持静止，以及外部环境中的尘粒不会进入晶圆环境。

2、然而，现有的smif盒，盒盖与底部基板的分离，以及盒盖打开后盒盖与移动机构的固定连接，分别采用不同的动力源实现，不仅不利于控制，而且，驱动成本较高。

技术实现思路

1、本技术的第一个目的在于提供一种smif盒联动开合装置，以解决现有的smif盒，盒盖与底部基板的分离，以及盒盖打开后盒盖与移动机构的固定连接，分别采用不同的动力源实现的技术问题。p>

2、本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种SMIF盒联动开合装置，所述SMIF盒包括基板(103)和罩设于所述基板(103)的盒盖(101)，所述盒盖(101)与所述基板(103)之间形成晶圆容纳腔，所述盒盖(101)与所述基板(103)之间设置有第一锁件，所述第一锁件具有连接所述盒盖(101)与所述基板(103)的锁止位置以及解除所述盒盖(101)与所述基板(103)连接状态的解锁位置；其特征在于，所述SMIF盒联动开合装置包括固定件(208)、活动件(209)、开锁机构和第二锁件(206)；

2.根据权利要求1所述的SMIF盒联动开合装置，其特征在于，所述开锁机构包括旋转凸轮(201)，所述旋转凸轮(20...

【技术特征摘要】

1.一种smif盒联动开合装置，所述smif盒包括基板(103)和罩设于所述基板(103)的盒盖(101)，所述盒盖(101)与所述基板(103)之间形成晶圆容纳腔，所述盒盖(101)与所述基板(103)之间设置有第一锁件，所述第一锁件具有连接所述盒盖(101)与所述基板(103)的锁止位置以及解除所述盒盖(101)与所述基板(103)连接状态的解锁位置；其特征在于，所述smif盒联动开合装置包括固定件(208)、活动件(209)、开锁机构和第二锁件(206)；

2.根据权利要求1所述的smif盒联动开合装置，其特征在于，所述开锁机构包括旋转凸轮(201)，所述旋转凸轮(201)可转动地安装于所述固定件(208)，所述旋转凸轮(201)具有第一外轮廓和第二外轮廓，所述第一外轮廓的曲率半径大于所述第二外轮廓的曲率半径，其中，所述第一外轮廓与所述第二锁件(206)配合用于使所述第二锁件(206)远离所述盒盖(101)，以使所述第二锁件(206)运动至所述分离位置，所述第二外轮廓与所述第二锁件(206)配合用于使所述第二锁件(206)靠近所述盒盖(101)，以使所述第二锁件(206)运动至所述随动位置；

3.根据权利要求2所述的smif盒联动开合装置，其特征在于，所述开锁机构还包括推杆(205)，所述推杆(205)可移动地安装于所述固定件(208)，且所述推杆(205)位于所述旋转凸轮(201)与所述第二锁件(206)之间；所述推杆(205)的一端用于与所述旋转凸轮(201)的外轮廓抵接配合，所述推杆(205)的另一端用于与所述第二锁件(206)抵接配合；所述推杆(205)始终具有与所述旋转凸轮(201)的外轮廓抵接的趋势。

4.根据权利要求2所述的smif盒联动开合装置，其特征在于，所述第二外轮廓为圆弧形。

5.根据权利要求3所述的smif盒联动开合装置，其特征在于，所述盒盖(101)的一组相对侧壁的位置处均设置有所述第二锁件(206)，每个所述第二锁件(206)与所述旋转凸轮(201)之间均设置有所述推杆(205)；所述旋转凸轮(201)具有两个第一外轮廓和两个第二外轮廓，所述第一外轮廓与所述第二外轮廓交替设置；和/或，所述推杆(205)朝向所述旋转凸轮(201)的一端设置有凸轮随动器(204)，所述推杆(205)通过所述凸轮随动器(204)与所述旋转凸轮(201)抵接；和/或，所述开锁机构还包括导向滑轨(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：