温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种基板处理装置及电介质板更换方法。处理基板的装置可以包括：壳体，具有处理空间；卡盘，在处理空间支撑基板；基座板，在处理空间内位于上部；电介质板，在处理空间与基板的上表面面对，并可装拆地提供在基座板；上部边缘电极，包围电介质板；下...
该专利属于PSK有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过PSK有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。