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本技术涉及一种用于量测光掩模图形的载台及载具组件，所述载台构造有用于支撑载具的支撑部、用于调整光掩模方位的定位部以及供量测光通过的中心孔，所述定位部包括构造于载台上表面的定位孔，所述定位孔构造为圆孔，定位孔的侧壁构造有至少两组卡口，各组卡口...
该专利属于兴华芯（绍兴）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过兴华芯（绍兴）半导体科技有限公司授权不得商用。

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