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本申请公开了一种微机械嵌套环形陀螺仪，包括衬底和设置在所述衬底上的支撑结构、嵌套环形谐振器和多个电极。支撑结构包括锚点和柔性支撑部件，锚点与衬底连接，柔性支撑部件与锚点连接，并用于对嵌套环形谐振器实现支撑。由于采用了具有柔性支撑部件的支撑结...
该专利属于中国科学院空天信息创新研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院空天信息创新研究院授权不得商用。

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