一种微机械嵌套环形陀螺仪制造技术

本申请公开了一种微机械嵌套环形陀螺仪，包括衬底和设置在所述衬底上的支撑结构、嵌套环形谐振器和多个电极。支撑结构包括锚点和柔性支撑部件，锚点与衬底连接，柔性支撑部件与锚点连接，并用于对嵌套环形谐振器实现支撑。由于采用了具有柔性支撑部件的支撑结构，因此能够减小由温度变化导致的应力的传导。通过调整结构参数，对陀螺仪工作模态的谐振频率进行了优化，降低了陀螺仪的振动灵敏度。从而能够解决微机械陀螺仪工作在恶劣环境时性能下降的问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及航空航天，更具体地说，涉及一种微机械嵌套环形陀螺仪。

技术介绍

1、微机械陀螺仪(mems gyroscope)是利用微电子机械系统(micro electromechanicalsystems,mems)技术制造的微型角速度传感器。mems技术是一种集成了微电子学、微工程力学、精密机械等多种学科的前沿技术。它通过在硅衬底上加工出微型机械结构，实现了传统宏观机械器件的微型化和集成化。微机械陀螺仪利用科里奥利力进行角速度的检测。具体来说，陀螺仪内部有一个不断震荡的质量块，当旋转发生时，质量块会因科里奥利力产生横向位移，这一位移被电容感应器件检测到并转换为电信号输出。

2、微机械陀螺仪作为测量物体在空间运动时的角速度或者姿态角的惯性传感器，具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、易集成等优点，使得其在惯性导航系统、汽车、消费电子、矿产开发等众多领域得到广泛应用。这些需求为mems陀螺仪实现进一步的发展提供了巨大的空间，同时也对mems陀螺仪的性能提出了更高的要求。特别是当微机械陀螺仪工作在相对恶劣的环境中时，如环境温度发生剧烈变化或存在强烈振本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微机械嵌套环形陀螺仪，其特征在于，包括衬底和设置在所述衬底上的支撑结构、嵌套环形谐振器和多个电极，其中：

2.如权利要求1所述的微机械嵌套环形陀螺仪，其特征在于，所述支撑结构、嵌套环形谐振器和多个电极均采用(100)晶面的SOI晶元加工而成。

3.如权利要求1所述的微机械嵌套环形陀螺仪，其特征在于，所述柔性支撑部件为弯曲折叠的柔性支撑梁。

4.如权利要求1所述的微机械嵌套环形陀螺仪，其特征在于，所述嵌套环形谐振器包括同心布置的多个环形谐振结构。

5.如权利要求4所述的微机械嵌套环形陀螺仪，其特征在于，每个所述环形谐振结构的壁厚相同，...

【技术特征摘要】

1.一种微机械嵌套环形陀螺仪，其特征在于，包括衬底和设置在所述衬底上的支撑结构、嵌套环形谐振器和多个电极，其中：

2.如权利要求1所述的微机械嵌套环形陀螺仪，其特征在于，所述支撑结构、嵌套环形谐振器和多个电极均采用(100)晶面的soi晶元加工而成。

3.如权利要求1所述的微机械嵌套环形陀螺仪，其特征在于，所述柔性支撑部件为弯曲折叠的柔性支撑梁。

4.如权利要求1所述的微机械嵌套环形陀螺仪，其特征在于，所述嵌套环形谐振器包括同心布置的多个环形谐振结构。

5.如权利要求4所述的微机械嵌套环形陀螺仪，其特征在于，每个所述环形谐振结构的壁厚相同，且任意两个所述环形谐振结构之间的距离相同。

6.如权利要求4所述的微机械嵌...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹旭东，翟朝阳，马良博，
申请(专利权)人：中国科学院空天信息创新研究院，
类型：发明
国别省市：