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本发明提供控制装置、控制方法、控制系统、光刻装置和制造物品的方法。所述控制装置用于控制连接到网络的多个节点。所述控制装置包括：通信单元，其被构造为，经由所述网络以预定周期发送/接收数据帧，所述数据帧包括分别分配给所述节点的多个数据区域；以及...
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