控制装置、控制方法、控制系统、光刻装置和制造物品的方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供控制装置、控制方法、控制系统、光刻装置和制造物品的方法。所述控制装置用于控制连接到网络的多个节点。所述控制装置包括：通信单元，其被构造为，经由所述网络以预定周期发送/接收数据帧，所述数据帧包括分别分配给所述节点的多个数据区域；以及设置单元，其被构造为，在第一周期中未使用所述多个数据区域中的、被安排为第一节点的数据区域的第一数据区域的情况下，在所述第一周期中，分配所述第一数据区域作为与所述第一节点不同的第二节点的数据区域。所述通信单元使所述第二节点在所述第一周期中读出被写入所述第一数据区域的响应数据。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及控制装置、控制方法、存储介质、控制系统、光刻装置和制造物品的方法。

技术介绍

1、日本特开第2022-108621号公报公开了如下技术：在主控装置与受控装置之间可靠地发送/接收控制数据的同时，无延迟地发送/接收关于由受控装置控制的单元中的异常的数据。

2、有时需要如下系统来获得关于由受控装置控制的单元的信息，该系统被构造为以预定周期在主控装置与受控装置之间发送/接收数据。在这种情况下，由于除了控制数据之外还需要在主控装置与受控装置之间发送/接收用于单元的信息的数据，因此每周期发送/接收的数据量增加。

3、当每周期发送/接收的数据量增加时，有时无法在一个周期(一个通信周期)内完成数据的发送/接收，并且有时跨多个周期发送/接收数据。在这种情况下，跨多个周期执行通常应在一个周期内执行的受控装置的处理，从而延迟了系统的操作。

技术实现思路

1、本专利技术提供了有利于抑制在主控装置与受控装置之间的数据的发送/接收中的延迟的技术。

2、本专利技术在其第一方面中提供了一种控本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种控制装置，其用于控制连接到网络的多个节点，所述控制装置包括：

2.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述第二节点是被构造为对单元进行控制的控制节点，并且

3.根据权利要求2所述的控制装置，其中，根据从所述状态数据区域读出的所述状态数据，发送用于改变对所述单元的控制的命令数据。

4.根据权利要求2所述的控制装置，其中，所述设置单元基于被构造为对单元进行控制的各控制节点的状态数据的采样率，从所述多个节点中确定所述第二节点。

5.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述设置单元基于所述多个节点的操作状态，从所述多个节点中确定所述第二节点...

【技术特征摘要】

1.一种控制装置，其用于控制连接到网络的多个节点，所述控制装置包括：

2.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述第二节点是被构造为对单元进行控制的控制节点，并且

3.根据权利要求2所述的控制装置，其中，根据从所述状态数据区域读出的所述状态数据，发送用于改变对所述单元的控制的命令数据。

4.根据权利要求2所述的控制装置，其中，所述设置单元基于被构造为对单元进行控制的各控制节点的状态数据的采样率，从所述多个节点中确定所述第二节点。

5.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述设置单元基于所述多个节点的操作状态，从所述多个节点中确定所述第二节点。

6.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述设置单元基于要发送的命令数据，从所述多个节点中确定所述第二节点。

7.根据权利要求2所述的控制装置，其中，所述数据帧还包括预先确保的空间区域，并且

8.根据权利要求7所述的控制装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：渡边康宽，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：