下载一种掩模安全交互传输结构的技术资料

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本技术公开了一种掩模安全交互传输结构,它包括工装、执行部件、第一Y向传感器、第二Y向传感器、第三Y向传感器、第一Z向传感器和第二Z向传感器;其中,所述工装上设有用于放置掩模的放料工位,所述执行部件上具有用于托住掩模的托料部,所述执行部件用于...
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