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一种MEMS压电换能器及电子设备制造技术
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文档序号:43762672
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本技术涉及MEMS电子技术领域,尤其是涉及一种MEMS压电换能器及电子设备。本申请提供的MEMS压电换能器及电子设备,MEMS压电换能器包括沿所述衬底轴向方向层叠设置的至少两个所述换能振动组件,相邻的两个所述换能振动组件通过所述连接单元连接...
该专利属于湖北九峰山实验室所有,仅供学习研究参考,未经过湖北九峰山实验室授权不得商用。
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