一种MEMS压电换能器及电子设备制造技术

本技术涉及MEMS电子技术领域，尤其是涉及一种MEMS压电换能器及电子设备。本申请提供的MEMS压电换能器及电子设备，MEMS压电换能器包括沿所述衬底轴向方向层叠设置的至少两个所述换能振动组件，相邻的两个所述换能振动组件通过所述连接单元连接，可以在不增加MEMS换能器面积的情况下提高MEMS的灵敏度，且在应用过程中，相邻的两个所述换能振动组件同时向相同的方向运动，从而可实现双面振动，换能振动组件在移动时更平稳，有利于降低杂音、提高振膜的振动行程。采用柔性材料进行耦合连接的换能振动组件在遭受机械冲击、跌落等时，可以缓冲冲击，降低了损坏风险，提高器件工作时的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及mems电子，尤其是涉及一种mems压电换能器及电子设备。

技术介绍

1、利用(micro-electro-mechanical system)mems技术加工技术制造出来的新型mems器件与传统的器件性比较，在结构上具有尺寸小、厚度薄等特点，产品可批量生产，全自动化组装具有成本的优势，在性能上，器件采用mems工艺，性能一致性好以及低功耗，易于集成化与智能化等特点。手机、平板等移动通讯设备中的麦克风已利用mems技术实现了小型化。压电mems器件当用作执行器时，在压电mems器件上施以交变电场，压电材料产生应变而带动薄膜振动，若产生的位移量越大则说明压电mems器件作为执行器时具有较大的发射灵敏度。当用作传感器时，力传至压电材料上引起压电材料的形变，从而在压电mems器件的电极两端输出交变的电压，若输出交变的电压越大则说明mems器件作为传感器时具有较大的接收灵敏度。以mems工艺为基础的mems音频转换器的尺寸较少，可以用于例如产生或者接收音乐、语音等应用的mems扬声器或麦mems克风，以及可用于例如超声波探测mems超声换能器。

<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS压电换能器，其特征在于，所述MEMS压电换能器包括：

2.根据权利要求1所述的MEMS压电换能器，其特征在于，所述换能振动组件包括：

3.根据权利要求2所述的MEMS压电换能器，其特征在于，相邻的两个所述换能振动组件中至少有一个所述换能振动组件具有弹簧结构；

4.根据权利要求1所述的MEMS压电换能器，其特征在于，所述弹性连接单元包括由柔性材料制备而成的边框和弹性连接件；所述弹性连接件用于连接相邻的两个所述换能振动组件的中部；所述边框用于连接相邻的两个所述换能振动组件的边缘。

5.根据权利要求2所述的MEMS压电换能器，其特...

【技术特征摘要】

1.一种mems压电换能器，其特征在于，所述mems压电换能器包括：

2.根据权利要求1所述的mems压电换能器，其特征在于，所述换能振动组件包括：

3.根据权利要求2所述的mems压电换能器，其特征在于，相邻的两个所述换能振动组件中至少有一个所述换能振动组件具有弹簧结构；

4.根据权利要求1所述的mems压电换能器，其特征在于，所述弹性连接单元包括由柔性材料制备而成的边框和弹性连接件；所述弹性连接件用于连接相邻的两个所述换能振动组件的中部；所述边框用于连接相邻的两个所述换能振动组件的边缘。

5.根据权利要求2所述的mems压电换能器，其特征在于，所述压电复合层单元为单压电层结构或双压电层结构或多压电层结构。

6.根据权利要求1所述的mems压电换能器，其特征在于，所述mems压电换能...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄湘俊，朱莉莉，罗士忠，肖晶晶，龚芝伊，
申请(专利权)人：湖北九峰山实验室，
类型：新型
国别省市：