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本申请提供一种温度补偿型声表面波谐振器的制作方法，包括：提供衬底；在衬底的一侧表面制作叉指换能器；叉指换能器包括汇流条和多个长指电极；在长指电极远离衬底的一侧制作第一负载结构；在第一负载结构远离长指电极的一侧制作第二负载结构；刻蚀第二负载结...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

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